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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權(quán)威研究機構(gòu)預(yù)測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達67億美元，年復(fù)合增長率達33.5%。去年底，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化?！背饡F介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)模化量產(chǎn)，進一步促進行業(yè)降本增效。
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網(wǎng)友評論 更多
2258 枯葉3
設(shè)計很簡潔，但無法保存瀏覽記錄，有點不方便。
2025-03-17 05:43:14 推薦
李靈魚 ：永盈彩票永盈平臺的客服態(tài)度很好，但解決問題的效率有待提高。
安榮 ：永盈彩票永盈平臺注冊成功后，系統(tǒng)自動生成的密碼很安全，但有點難記。
24948 夏末葉
建議增加的功能權(quán)限。
2025-03-10 09:03:23 推薦
情迷日落 ：我覺得這個內(nèi)容很豐富，但有些功能對未注冊用戶限制太多。
午后小雨 ：永盈彩票永盈平臺的充值返利活動看著誘人，實際門檻高到天花板，套路深！
80879 無百
永盈彩票永盈平臺的設(shè)計很現(xiàn)代化，但有些功能對新手不太友好。
2025-03-29 19:28:24 推薦
清肅 ：設(shè)計很專業(yè)，但很多功能都無法體驗，有點遺憾。
老牤牛 ：設(shè)計很專業(yè)，但很多功能都無法使用。
7814 花多更
部分功能需要優(yōu)化，使用起來不夠流暢，希望能改進。
2025-03-15 15:46:18 推薦
農(nóng)夫兩拳 ：隱私政策寫得比較模糊，需要更詳細一些。
咸魚上岸 ：使用永盈彩票永盈平臺，可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還算流暢。
201 狂鯊
投注選項復(fù)雜得像高數(shù)題，新手直接懵圈，建議出個傻瓜教程！
2025-03-16 05:11:06 推薦
忽胖忽瘦 ：永盈彩票永盈平臺的設(shè)計很現(xiàn)代化，但有些功能對新手不太友好。
暴走的石頭 ：設(shè)計很專業(yè)，但很多功能都無法使用，有點遺憾。