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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點(diǎn)、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴(yán)重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴(kuò)大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權(quán)威研究機(jī)構(gòu)預(yù)測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達(dá)67億美元，年復(fù)合增長率達(dá)33.5%。去年底，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化?！背饡F介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，進(jìn)一步促進(jìn)行業(yè)降本增效。
大發(fā)彩票娛樂官網(wǎng)最新版在哪下載安裝？大發(fā)彩票娛樂官網(wǎng)最新版好用嗎？
作者: 你的小火龍 2025-03-31 15:32:09大發(fā)彩票娛樂官網(wǎng)最新版Android怎么安裝？
作者: 方腦殼 2025-03-26 17:50:37
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41272 水木兮禹
設(shè)計(jì)很現(xiàn)代化，但有些功能對新手不太友好。
2025-03-08 15:12:01 推薦
基學(xué) ：設(shè)計(jì)很專業(yè)，但很多功能都無法體驗(yàn)，有點(diǎn)遺憾。
程閚雪 ：可以瀏覽的內(nèi)容質(zhì)量很高，但很多頁面都有注冊提示，有點(diǎn)煩人。
6613 黑色下山虎
設(shè)計(jì)很現(xiàn)代化，但有些功能用不上，感覺有點(diǎn)多余。
2025-03-21 14:01:57 推薦
蘋果大王 ：廣告彈窗有點(diǎn)多，影響了使用體驗(yàn)，希望能減少一些。
阿茹 ：界面很友好，但無法參與討論，感覺少了點(diǎn)互動性。
98 丹桂太陽
可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗(yàn)還算流暢。
2025-03-08 18:46:58 推薦
鮫綃未透 ：大發(fā)彩票娛樂官網(wǎng)最新版的廣告彈窗有點(diǎn)煩人，希望能提供關(guān)閉選項(xiàng)。
枉廢今生 ：我覺得這個內(nèi)容更新很及時，但注冊流程有點(diǎn)復(fù)雜。
775 洛神雨
設(shè)計(jì)很專業(yè)，但很多功能都無法體驗(yàn)。
2025-03-16 09:50:12 推薦
伯爵與妖精 ：我覺得這個內(nèi)容更新很及時，但注冊提示有點(diǎn)頻繁。
梨花白石 ：隱私政策寫得比較詳細(xì)，但有些條款不太容易理解。
89 宅san
游戲畫質(zhì)調(diào)到最高反而糊成馬賽克，開發(fā)者是反向優(yōu)化大師？
2025-03-25 13:21:46 推薦
月蕭寒 ：大發(fā)彩票娛樂官網(wǎng)最新版的界面設(shè)計(jì)美觀，但有些地方的配色有點(diǎn)刺眼。
向天 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗(yàn)還不錯，至少沒有廣告干擾。