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科技日?qǐng)?bào)北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“西湖儀器”)成功開(kāi)發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動(dòng)化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點(diǎn)、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級(jí)的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴(yán)重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴(kuò)大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時(shí)降低單位芯片制造成本。
據(jù)國(guó)際權(quán)威研究機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，到2027年，全球碳化硅功率器件市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)67億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)33.5%。去年底，國(guó)內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場(chǎng)需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)。
“該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過(guò)程的自動(dòng)化。”仇旻介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過(guò)程無(wú)材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說(shuō)，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時(shí)間，適用于未來(lái)超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)模化量產(chǎn)，進(jìn)一步促進(jìn)行業(yè)降本增效。
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作者: 子觀 2025-03-30 07:53:02大發(fā)welcome購(gòu)彩大廳網(wǎng)址下載IOS怎么安裝？
作者: 夜林晚 2025-03-29 11:40:14大發(fā)welcome購(gòu)彩大廳網(wǎng)址下載Android怎么安裝？
作者: 庚辰辛巳 2025-04-01 02:54:48
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337 鏡天琉璃
導(dǎo)航很清晰，但無(wú)法參與投票，感覺(jué)少了點(diǎn)參與感。
2025-03-17 13:37:30 推薦
老樹(shù)枯柴 ：設(shè)計(jì)很現(xiàn)代化，但有些功能對(duì)新手不太友好，希望能增加引導(dǎo)。
清檸啊 ：界面很友好，但無(wú)法參與討論，感覺(jué)少了點(diǎn)互動(dòng)性。
47 劉思淵
可以看到一些優(yōu)質(zhì)內(nèi)容，但很多功能需要注冊(cè)才能解鎖，有點(diǎn)遺憾。
2025-03-20 00:09:55 推薦
天涯寂寞刀 ：大發(fā)welcome購(gòu)彩大廳網(wǎng)址下載的安全性很高，但注冊(cè)時(shí)的驗(yàn)證流程有點(diǎn)繁瑣。
二橋 ：大發(fā)welcome購(gòu)彩大廳網(wǎng)址下載的客服態(tài)度很好，但解決問(wèn)題的速度有點(diǎn)慢，希望能更快一些。
1240 橘子被貓吃
平臺(tái)整體還不錯(cuò)，但有些細(xì)節(jié)需要改進(jìn)。
2025-03-24 08:14:42 推薦
愛(ài)神黑白羽翼 ：可以看到一些有趣的內(nèi)容，但很多功能需要注冊(cè)才能解鎖，有點(diǎn)不方便。
熊掌撥清波 ：大發(fā)welcome購(gòu)彩大廳網(wǎng)址下載的APP夜間模式太暗，看白色比分牌差點(diǎn)閃瞎眼！
136 落喵喵
安全性很高，但注冊(cè)時(shí)的驗(yàn)證流程有點(diǎn)繁瑣，希望能簡(jiǎn)化。
2025-03-08 11:16:29 推薦
涼風(fēng)有信 ：我覺(jué)得這個(gè)內(nèi)容質(zhì)量很高，但注冊(cè)流程有點(diǎn)冗長(zhǎng)。
混沌巨樹(shù) ：客服態(tài)度很好，但解決問(wèn)題的專業(yè)性有待提高，希望能更專業(yè)一些。
639 耳東蔚然
大發(fā)welcome購(gòu)彩大廳網(wǎng)址下載的成就系統(tǒng)挺有趣，但獎(jiǎng)勵(lì)吸引力不足，缺乏長(zhǎng)期動(dòng)力。
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雨上愛(ài)吃肉 ：部分功能需要優(yōu)化，使用起來(lái)不夠流暢，希望能改進(jìn)。
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