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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用。”西湖大學(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權(quán)威研究機構(gòu)預(yù)測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達67億美元，年復(fù)合增長率達33.5%。去年底，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化?！背饡F介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，進一步促進行業(yè)降本增效。
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8022 丑八佰
加載速度很快，但有些頁面的圖片加載有點慢。
2025-03-09 20:39:39 推薦
黃曉鴨 ：安全性高，使用放心。
唯薇十月 ：用幸運快3計劃app下載的某款游戲，居然閃退了一整天，兼容性太拉胯！
43 德音不忘
支持離線下載功能，沒網(wǎng)絡(luò)也能提前緩存游戲，太貼心了。幸運快3計劃app的廣告彈窗有點多，尤其是啟動時頻繁跳出，影響體驗。
2025-03-02 00:34:52 推薦
恐高的慫鷹 ：使用幸運快3計劃app，無法保存瀏覽記錄，有點不方便。
有鹿從渠 ：界面設(shè)計簡潔，但有些功能隱藏得太深，不容易找到。
32166 泡椒鳳爪
平臺推薦的游戲質(zhì)量很高，很多小眾精品都能在這里發(fā)現(xiàn)。
2025-03-10 07:24:01 推薦
淡粥 ：幸運快3計劃app的每日簽到獎勵很實在，免費領(lǐng)取道具超劃算！
水木楓 ：導(dǎo)航很清晰，但無法參與投票，感覺少了點參與感。
42 33度
設(shè)計非常現(xiàn)代化，用戶體驗很棒，尤其是導(dǎo)航欄的設(shè)計非常直觀。
2025-03-28 16:39:59 推薦
飄過太平洋 ：幸運快3計劃app的界面設(shè)計科技感十足，但注冊流程復(fù)雜到想放棄，驗證碼刷了5次才成功！
阿輝 ：平臺穩(wěn)定性一般，偶爾會出現(xiàn)小問題。
539 柿子雞蛋面
注冊流程有點長，但每一步都很清晰，沒有誤導(dǎo)性信息。
2025-03-22 08:03:09 推薦
笑南風 ：多語言支持，國際化。
亞忠 ：無法參與評論，感覺少了點互動性，有點遺憾。