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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學獲悉,由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術,解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比,碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導率,可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作,已成為新能源和半導體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關鍵材料。
“目前,碳化硅襯底材料成本居高不下,嚴重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應用。”西湖大學工學院講席教授仇旻介紹,碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一,是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比,12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積,在同等生產(chǎn)條件下,可顯著提升芯片產(chǎn)量,同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權威研究機構預測,到2027年,全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達67億美元,年復合增長率達33.5%。去年底,國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前,西湖儀器已率先推出8英寸導電型碳化硅襯底激光剝離設備。為響應最新市場需求,西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術,將超快激光加工技術應用于碳化硅襯底加工行業(yè),完成了相關設備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化。”仇旻介紹,與傳統(tǒng)切割技術相比,激光剝離過程無材料損耗,原料損耗大幅下降。
仇旻說,新技術可大幅縮短襯底出片時間,適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?;慨a(chǎn),進一步促進行業(yè)降本增效。
大發(fā)彩票入口56在哪下載安裝?大發(fā)彩票入口56好用嗎?
作者: 阡南望 2025-03-25 11:56:12大發(fā)彩票入口56
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網(wǎng)友評論 更多
590 東城芹菜
平臺穩(wěn)定性一般,偶爾會出現(xiàn)崩潰的情況,需要改進。
2025-03-21 23:40:54 推薦
生冷無忌 :注冊成功后,系統(tǒng)自動生成的密碼很安全,但有點難記,希望能提供修改選項。
燕子飛來了 :界面設計美觀,但有些地方的配色有點刺眼,希望能調(diào)整。
25 痞徒
賽事數(shù)據(jù)更新倒是挺全,但NBA比分延遲3分鐘,跟別人聊天都不敢看手機!
2025-03-18 21:18:35 推薦
蘿莉姐姐姐 :為什么每次關鍵進球瞬間,大發(fā)彩票入口56的直播就卡成PPT?網(wǎng)速背鍋還是服務器不行?
酸菜魚吶 :為什么每次打開大發(fā)彩票入口56都要強制看5秒開屏廣告?用戶體驗大打折扣!
95 陶垣
大發(fā)彩票入口56的穩(wěn)定性不錯,但偶爾會出現(xiàn)一些小問題,需要修復。
2025-03-20 04:07:08 推薦
浮影流 :客服態(tài)度很好,但解決問題的效率有待提高。
紅天煥月 :游戲更新推送倒是挺及時,但更新包動不動就幾個G,流量黨哭了。
430 楓雪亂
大發(fā)彩票入口56支持多語言,但有些翻譯不夠準確,希望能改進。
2025-03-10 23:59:24 推薦
蘇子歡 :無法保存瀏覽記錄,有點不方便。
指間香煙 :設計很現(xiàn)代化,但有些功能對新手不太友好。
240 肥宅很忙
功能限制太多,連游戲評論都看不了,有點失望。
2025-03-30 04:10:35 推薦
系大統(tǒng) :“防沉迷提醒”每小時彈一次,但跳過按鈕小到需要用顯微鏡找!
夜寒書生 :界面很友好,但無法參與評論,感覺少了點互動性。