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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應用。”西湖大學工學院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權威研究機構預測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達67億美元，年復合增長率達33.5%。去年底，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導電型碳化硅襯底激光剝離設備。為響應最新市場需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術，將超快激光加工技術應用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關設備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化。”仇旻介紹，與傳統(tǒng)切割技術相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，進一步促進行業(yè)降本增效。
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40 萬劍靈
“新手福利”領完才發(fā)現(xiàn)全是限時道具，過期即廢，套路太深！
2025-03-01 16:00:01 推薦
奔騰赤兔 ：設計很專業(yè)，但很多功能都無法使用，有點遺憾。
蜀中布衣 ：提供了很多個性化設置，用戶體驗很貼心，感覺很被重視。
446 浩瀚馨語
可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還算流暢，沒有卡頓。
2025-03-01 05:38:04 推薦
飛翔的小撲街 ：新城app手機版的“一鍵登錄”功能形同虛設，最后還是得綁手機號+郵箱！
邵羽 ：安全性很高，但注冊時的驗證流程有點繁瑣。
920 五河士織醬
安全性很高，但注冊時的驗證流程有點繁瑣，希望能簡化。
2025-03-24 04:55:32 推薦
暗夜之光 ：使用新城app手機版，可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還不錯。
霸氣的傷 ：新城app手機版的穩(wěn)定性一般，偶爾會出現(xiàn)崩潰的情況，需要改進。
5334 鏡
可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還行。
2025-03-06 20:13:50 推薦
小恰比 ：我覺得這個響應速度很快，但注冊頁面設計得不夠吸引人。
靈咚咚 ：可以看到一些優(yōu)質(zhì)內(nèi)容，但很多頁面都有注冊彈窗，有點打擾。
174 大秦小兵
游戲成就獎勵寒酸到離譜——肝三天送個“謝謝參與”表情包？
2025-03-26 10:53:32 推薦
公子為何萌面 ：平臺穩(wěn)定性不錯，但偶爾會出現(xiàn)一些小問題，需要修復。
雪域孤狂 ：界面設計簡潔，但有些功能的使用說明不夠詳細。