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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用。”西湖大學(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權(quán)威研究機構(gòu)預(yù)測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達67億美元，年復(fù)合增長率達33.5%。去年底，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化?！背饡F介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，進一步促進行業(yè)降本增效。
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5600 今天有雷陣雨
安全性很高，但注冊時的驗證流程有點繁瑣，希望能簡化。
2025-03-07 10:02:05 推薦
萬瑪才旦 ：設(shè)計很現(xiàn)代化，但很多鏈接都指向注冊頁面，有點強迫感。
亞歷克斯休斯頓費希爾 ：平臺穩(wěn)定性一般，偶爾會出現(xiàn)崩潰的情況，需要改進。
4499 雁獨
導(dǎo)航很清晰，但無法參與投票，感覺少了點參與感。
2025-03-04 08:00:02 推薦
星海一粒沙 ：安全性很高，但注冊時的隱私提示不夠明顯。
玄門大公子 ：極速飛艇計劃大全的穩(wěn)定性不錯，但偶爾會出現(xiàn)一些小問題，需要修復(fù)。
8228 杰夫福勒
可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還算流暢，沒有卡頓。
2025-03-16 15:54:33 推薦
逆向時光 ：注冊時要求綁定銀行卡，結(jié)果短信驗證碼等了10分鐘，急得想砸手機！
倫納特拉夫 ：內(nèi)容豐富，但有些內(nèi)容的排版有點亂，希望能優(yōu)化一下。
520 林德祿
無法保存瀏覽記錄，有點不方便，希望能增加這個功能。
2025-03-07 22:41:06 推薦
泰勒尼爾森 ：無法保存瀏覽記錄，有點不方便。
看破不點破 ：我覺得這個內(nèi)容更新很及時，但注冊提示有點頻繁。
50267 藤井道人
平臺推薦的“熱門游戲”點進去全是換皮氪金手游，良心呢？
2025-03-20 16:20:58 推薦
大有為 ：極速飛艇計劃大全的安全性很高，但注冊時的隱私提示不夠明顯。
邁克爾貝 ：游客模式可以開放基礎(chǔ)功能，比如查看游戲評分和簡介。