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科技日?qǐng)?bào)北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“西湖儀器”)成功開(kāi)發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動(dòng)化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點(diǎn)、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級(jí)的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴(yán)重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴(kuò)大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時(shí)降低單位芯片制造成本。
據(jù)國(guó)際權(quán)威研究機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，到2027年，全球碳化硅功率器件市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)67億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)33.5%。去年底，國(guó)內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場(chǎng)需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)。
“該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過(guò)程的自動(dòng)化?！背饡F介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過(guò)程無(wú)材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說(shuō)，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時(shí)間，適用于未來(lái)超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)模化量產(chǎn)，進(jìn)一步促進(jìn)行業(yè)降本增效。
天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APP在哪下載安裝？天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APP好用嗎？
作者: 不羨君王 2025-03-29 17:33:18天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APPIOS怎么安裝？
作者: 磬始 2025-03-31 23:30:38天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APPAndroid怎么安裝？
作者: 聚醚砜樹(shù)脂 2025-03-31 02:38:35
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73 悠哉日常大王
天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APP的界面設(shè)計(jì)簡(jiǎn)潔，但有些功能的使用說(shuō)明不夠詳細(xì)。
2025-03-05 15:49:20 推薦
堪夢(mèng)01 ：天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APP的APP夜間模式太暗，看白色比分牌差點(diǎn)閃瞎眼！
奶酪狐 ：“賽事回看”功能救了加班狗，錯(cuò)過(guò)直播也能補(bǔ)全程，但廣告插得猝不及防……
2712 吃白菜么
投注選項(xiàng)復(fù)雜得像高數(shù)題，新手直接懵圈，建議出個(gè)傻瓜教程！
2025-03-24 18:19:05 推薦
新木 ：天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APP的內(nèi)容分類(lèi)很清晰，但有些分類(lèi)下的內(nèi)容太少，希望能豐富一些。
偉大的神 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗(yàn)還算流暢，沒(méi)有卡頓。
9910 菁番茄
設(shè)計(jì)很現(xiàn)代化，但有些功能對(duì)新手不太友好。
2025-03-09 00:49:41 推薦
野人大朋 ：部分功能需要優(yōu)化，使用起來(lái)不夠流暢，希望能改進(jìn)。
四月優(yōu) ：隱私政策寫(xiě)得比較詳細(xì)，但有些條款不太容易理解。
9012 獨(dú)醉
支持多語(yǔ)言，但有些翻譯不夠準(zhǔn)確，希望能改進(jìn)。
2025-03-05 21:00:13 推薦
曉泉叮咚 ：我覺(jué)得這個(gè)內(nèi)容分類(lèi)很清晰，但注冊(cè)提示有點(diǎn)過(guò)多。
獅搏 ：平臺(tái)推薦的“熱門(mén)游戲”點(diǎn)進(jìn)去全是換皮氪金手游，良心呢？
89322 煙波江南
天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APP的客服態(tài)度很好，但解決問(wèn)題的專(zhuān)業(yè)性有待提高。
2025-03-15 13:15:22 推薦
魚(yú)不語(yǔ) ：建議天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APP減少?gòu)V告頻率，或者提供會(huì)員去廣告選項(xiàng)。
仙舟 ：使用天天娛樂(lè)彩票welcome大廳APP，感覺(jué)功能限制太多，有點(diǎn)被排除在外。