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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴(yán)重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權(quán)威研究機構(gòu)預(yù)測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達(dá)67億美元，年復(fù)合增長率達(dá)33.5%。去年底，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化?！背饡F介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，進(jìn)一步促進(jìn)行業(yè)降本增效。
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作者: 劉家升 2025-03-31 11:53:59
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440 林詩雅
加載速度快，體驗流暢。
2025-03-10 15:48:44 推薦
黃政哲 ：“新手福利”領(lǐng)完才發(fā)現(xiàn)全是限時道具，過期即廢，套路太深！
林常韋 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還不錯，至少沒有廣告干擾。
2190 王喬龍
技術(shù)架構(gòu)很穩(wěn)定，幾乎沒有崩潰的情況。
2025-03-01 20:55:33 推薦
吳怡昌 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還不錯，至少沒有廣告干擾。
鄭馨儀 ：部分功能需要優(yōu)化，使用起來不夠流暢，希望能改進(jìn)。
5077 張家新
“防沉迷提醒”每小時彈一次，但跳過按鈕小到需要用顯微鏡找！
2025-03-29 02:50:59 推薦
潘心盛 ：“限時免費活動”永遠(yuǎn)搶不到名額，懷疑是程序員寫的假按鈕！
張雅茹 ：設(shè)計很現(xiàn)代化，但有些功能對新手不太友好，希望能增加引導(dǎo)。
12 方怡璇
設(shè)計很現(xiàn)代化，但有些功能對新手不太友好，希望能增加引導(dǎo)。
2025-03-21 08:29:07 推薦
許宜芳 ：我覺得這個加載速度很快，但注冊流程有點復(fù)雜。
陳蕓倫 ：設(shè)計很簡潔，但功能有點少。
54 林崇蘋
廣告彈窗有點多，影響了使用體驗，希望能減少一些。
2025-03-18 04:25:48 推薦
楊俊龍 ：客服態(tài)度很好，但解決問題的效率有待提高。
劉曉雯 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還算流暢，沒有卡頓。