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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴(yán)重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴(kuò)大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權(quán)威研究機(jī)構(gòu)預(yù)測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達(dá)67億美元，年復(fù)合增長率達(dá)33.5%。去年底，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化?！背饡F介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)模化量產(chǎn)，進(jìn)一步促進(jìn)行業(yè)降本增效。
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網(wǎng)友評論 更多
42 做了一個夢i
導(dǎo)航很清晰，但無法參與投票，感覺少了點參與感。
2025-03-29 21:24:02 推薦
豆芽 ：部分功能需要優(yōu)化，使用起來不夠流暢，希望能改進(jìn)。
自相忘 ：界面看起來很專業(yè)，但游客權(quán)限太低，很多內(nèi)容都看不到。
60 香橙味
安全性很高，但注冊時的驗證碼有點難辨認(rèn)。
2025-03-24 19:38:38 推薦
三舞麟月軒秀 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還算流暢。
多納托卡瑞西 ：瓊粵彩票的界面設(shè)計簡潔，但有些功能的使用說明不夠詳細(xì)。
2928 木落紅塵
注冊成功后，系統(tǒng)自動生成的密碼很安全，但有點難記，希望能提供修改選項。
2025-03-18 14:46:23 推薦
九重雪 ：客服態(tài)度很好，但解決問題的效率有待提高，希望能更快一些。
Ling君 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還算流暢，沒有卡頓。
623 易河洛
瓊粵彩票的廣告彈窗有點多，影響了使用體驗，希望能減少一些。
2025-03-24 22:47:32 推薦
最愛火爆腰花 ：注冊流程有點長，但每一步都很清晰，沒有誤導(dǎo)性信息，這點很好。
不修邊幅 ：瓊粵彩票的簽到獎勵：第一天送鉆石，第二天送空氣，真實！
147 80后老宋
平臺穩(wěn)定性不錯，但偶爾會出現(xiàn)一些小問題，需要修復(fù)。
2025-03-25 16:34:00 推薦
權(quán)五光 ：加載速度很快，但有些頁面的圖片加載有點慢。
克里斯蒂安阿瓦特 ：設(shè)計很簡潔，但無法保存喜歡的文章，有點不方便。