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科技日報北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴(yán)重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時降低單位芯片制造成本。
據(jù)國際權(quán)威研究機構(gòu)預(yù)測，到2027年，全球碳化硅功率器件市場規(guī)模將達(dá)67億美元，年復(fù)合增長率達(dá)33.5%。去年底，國內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動化。”仇旻介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，進(jìn)一步促進(jìn)行業(yè)降本增效。
澳洲10開官網(wǎng)開獎在哪下載安裝？澳洲10開官網(wǎng)開獎好用嗎？
作者: 孜然腰花 2025-03-30 12:29:37
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30 文夢勤恒
可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還算流暢。
2025-03-10 01:53:40 推薦
星空夏目 ：內(nèi)容豐富，但有些內(nèi)容的排版有點亂，希望能優(yōu)化一下。
IlAlt ：設(shè)計很現(xiàn)代化，但有些功能對新手不太友好，希望能增加引導(dǎo)。
40895 涼皮不加糖
設(shè)計很專業(yè)，但很多功能都無法體驗，有點遺憾。
2025-03-28 20:05:27 推薦
刁民君 ：隱私政策寫得比較模糊，需要更詳細(xì)一些。
布衣笑王侯 ：平臺穩(wěn)定性不錯，但偶爾會出現(xiàn)一些小問題，需要修復(fù)。
281 花逸安
我覺得這個響應(yīng)速度很快，但注冊頁面設(shè)計得不夠吸引人。
2025-03-26 10:22:29 推薦
蛋似鋼打 ：安全性很高，但注冊時的隱私提示不夠明顯。
鑲黃旗 ：澳洲10開官網(wǎng)開獎的隱私政策寫得比較詳細(xì)，但有些條款不太容易理解。
74 淺禹
客服態(tài)度很好，但解決問題的效率有待提高。
2025-03-27 02:28:11 推薦
上古萌物 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗還不錯，至少沒有廣告干擾。
下海撈月 ：內(nèi)容分類很清晰，但有些分類下的內(nèi)容太少，希望能豐富一些。
419 美甲師大叔
設(shè)計很現(xiàn)代化，但很多鏈接都指向注冊頁面，有點強迫感。
2025-03-19 00:18:59 推薦
坦克01 ：設(shè)計很現(xiàn)代化，但有些功能對新手不太友好，希望能增加引導(dǎo)。
思念共我長 ：澳洲10開官網(wǎng)開獎的隱私政策寫得有點模糊，希望能更透明一些。