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科技日?qǐng)?bào)北京3月27日電 (記者劉園園)記者27日從西湖大學(xué)獲悉，由該校孵化的西湖儀器(杭州)技術(shù)有限公司(以下簡(jiǎn)稱“西湖儀器”)成功開發(fā)出12英寸碳化硅襯底自動(dòng)化激光剝離技術(shù)，解決了12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片難題。
與傳統(tǒng)的硅材料相比，碳化硅具有更寬的禁帶能隙以及更高的熔點(diǎn)、電子遷移率和熱導(dǎo)率，可在高溫、高電壓條件下穩(wěn)定工作，已成為新能源和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)迭代升級(jí)的關(guān)鍵材料。
“目前，碳化硅襯底材料成本居高不下，嚴(yán)重阻礙了碳化硅器件的大規(guī)模應(yīng)用?！蔽骱髮W(xué)工學(xué)院講席教授仇旻介紹，碳化硅行業(yè)降本增效的重要途徑之一，是制造更大尺寸的碳化硅襯底材料。與6英寸和8英寸襯底相比，12英寸碳化硅襯底材料擴(kuò)大了單片晶圓上可用于芯片制造的面積，在同等生產(chǎn)條件下，可顯著提升芯片產(chǎn)量，同時(shí)降低單位芯片制造成本。
據(jù)國(guó)際權(quán)威研究機(jī)構(gòu)預(yù)測(cè)，到2027年，全球碳化硅功率器件市場(chǎng)規(guī)模將達(dá)67億美元，年復(fù)合增長(zhǎng)率達(dá)33.5%。去年底，國(guó)內(nèi)企業(yè)披露了最新一代12英寸碳化硅襯底。12英寸及以上超大尺寸碳化硅襯底切片需求隨之出現(xiàn)。
此前，西湖儀器已率先推出8英寸導(dǎo)電型碳化硅襯底激光剝離設(shè)備。為響應(yīng)最新市場(chǎng)需求，西湖儀器迅速推出超大尺寸碳化硅襯底激光剝離技術(shù)，將超快激光加工技術(shù)應(yīng)用于碳化硅襯底加工行業(yè)，完成了相關(guān)設(shè)備和集成系統(tǒng)的開發(fā)。
“該技術(shù)實(shí)現(xiàn)了碳化硅晶錠減薄、激光加工、襯底剝離等過程的自動(dòng)化?！背饡F介紹，與傳統(tǒng)切割技術(shù)相比，激光剝離過程無材料損耗，原料損耗大幅下降。
仇旻說，新技術(shù)可大幅縮短襯底出片時(shí)間，適用于未來超大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；慨a(chǎn)，進(jìn)一步促進(jìn)行業(yè)降本增效。
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53705 梨梨
彩神iv.apk的客服態(tài)度很好，但解決問題的效率有待提高。
2025-03-01 04:20:59 推薦
火焰翼人 ：希望增加“家長(zhǎng)監(jiān)控模式”，孩子偷偷玩氪金游戲差點(diǎn)刷爆我的卡！
心如紙水 ：客服態(tài)度很好，但解決問題的專業(yè)性有待提高，希望能更專業(yè)一些。
2627 搬磚
社區(qū)互動(dòng)做得不錯(cuò)，但帖子審核時(shí)間太長(zhǎng)，發(fā)個(gè)攻略要等半天。
2025-03-21 05:46:03 推薦
在下行之 ：可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗(yàn)還算流暢。
笑彌勒 ：使用彩神iv.apk，可以瀏覽的內(nèi)容有限，但整體體驗(yàn)還算流暢。
47928 紫某人
優(yōu)化低配設(shè)備的兼容性，讓更多玩家能流暢運(yùn)行游戲。
2025-03-28 13:37:54 推薦
騎著龍去旅行 ：可以瀏覽的內(nèi)容質(zhì)量很高，但很多頁面都有注冊(cè)提示，有點(diǎn)煩人。
我步入地獄 ：導(dǎo)航很清晰，但無法參與投票，感覺少了點(diǎn)參與感。
83 貌似純潔
這個(gè)平臺(tái)讓我感到很溫暖，用戶體驗(yàn)很棒！
2025-03-17 11:39:31 推薦
喜歡天藍(lán)色 ：無法保存瀏覽記錄，有點(diǎn)不方便，希望能增加這個(gè)功能。
緋紅狐貍L ：客服態(tài)度很好，但解決問題的效率有待提高，希望能更快一些。
1831 第七事件
注冊(cè)成功后，系統(tǒng)自動(dòng)生成的密碼很安全，但有點(diǎn)難記。
2025-03-07 22:41:16 推薦
醉夢(mèng)紅辰 ：彩神iv.apk內(nèi)容豐富，但有些內(nèi)容的排版有點(diǎn)亂，希望能優(yōu)化一下。
暮水輕年 ：內(nèi)容豐富，但有些內(nèi)容的排版有點(diǎn)亂，希望能優(yōu)化一下。